オーダーメイドFA機器・検査機器専門メーカー
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製作実績
半導体関連

つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置。

簡易スペック

・表裏アライメントマーク用光学系500万画素カメラ。
・オリフラ用光学系200万画素カメラ。
・XYZアライメント軸分解機能0.1µ。
・θ軸分解機能8秒。

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業界別製作実績

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