・表裏アライメントマーク用光学系500万画素カメラ。
・オリフラ用光学系200万画素カメラ。
・XYZアライメント軸分解機能0.1µ。
・θ軸分解機能8秒。
・露光方式ギャップ0.1µ分解能で任意に設定。
・ソフトコンタクト(ロードセル圧力検知)
・ハードコンタクト(エアーによる吹上)