オーダーメイドFA機器・検査機器専門メーカー
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製作実績
半導体業界

つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置。同装置以外にもスプレーコーター等を弊社で製作している。

簡易スペック

・表裏アライメントマーク用光学系500万画素カメラ。
・オリフラ用光学系200万画素カメラ。
・XYZアライメント軸分解機能0.1µ。
・θ軸分解機能8秒。
・露光方式ギャップ0.1µ分解能で任意に設定。
・ソフトコンタクト(ロードセル圧力検知)
・ハードコンタクト(エアーによる吹上)

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業界別製作実績

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