【検査機に対して半導体ウェハを自動供給する装置】

キャリアからウェハを取り出し、プリアライメントで位置補正し、検査部にウェハを供給します。
検査後、ウェハを自動退出させ、キャリアの元の位置へウェハを格納します。
除振機構を採用、検査時の振動を防ぎます。

◇プリアライメント機構　XY軸ストローク：±2mm以上、θ軸ストローク角度：±15度以上、吸着テーブル