オーダーメイドFA機器・検査機器専門メーカー
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製作実績
半導体関連

つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置。

簡易スペック

パルスモータ軸数:3軸
ワーク(ノズル)移動用XYステージ
塗布材料供給用シリンジ
塗布用ホットプレート:最大100℃
ベーク用ホットプレート:最大150℃
気体制御:スプレーノズル用
ウェハ裏面回り込み用
ノズル乾燥防止:カップに液浸(PEGMA等)
ウェハ供給:airPLAD hs5.0より
セットパラメータ
・スプレー用空気圧(霧化圧)
・塗布材料供給シリンジ送り量
・ワーク(ノズル)移動用XYステージ移動速度
・ワーク(ノズル)移動用XYステージポジション情報指定

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業界別製作実績

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