パルスモータ軸数：3軸
ワーク（ノズル）移動用ＸＹステージ
塗布材料供給用シリンジ
塗布用ホットプレート：最大100℃
ベーク用ホットプレート：最大150℃
気体制御：スプレーノズル用
ウェハ裏面回り込み用
ノズル乾燥防止：カップに液浸（PEGMA等）
ウェハ供給：airPLAD hs5.0より
セットパラメータ
・スプレー用空気圧（霧化圧）
・塗布材料供給シリンジ送り量
・ワーク（ノズル）移動用ＸＹステージ移動速度
・ワーク（ノズル）移動用ＸＹステージポジション情報指定