株式会社ライズワン

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両面自動マスク露光機

・2視野観察によるオートアライメント(上側下側 観察)  XYZθ軸モータードライブステージで手動/自動アライメントが可能です。 ・インテグレータレンズ搭載の高精度・高効率・高出力ランプハウス装備。 ・シャッターを開かずにランプ光軸調整ができるアークモニタ装備。 ・マスクと試料の密着性を改善する試料吹上コンタクト機能。 ・デザインルール 1~3μm。 ・露光エリア φ160mm。 ・露光ランプ照度低下に連動して露光時間を自動調整する積算光量機能。 ・主波長 365、405、436nm ・適応ワーク4、6インチ(3インチ~8インチまでの製作実績あり) ・適応マスク5、7インチ ・アライメント精度±1.0μm(500万画素CCD 対物2倍顕微鏡)

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