株式会社ライズワン

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両面自動マスク露光機

1:1 等倍露光方式 ソフト/ハード コンタクトおよびプロキシミティ露光。 コンタクト圧調整可能(Z軸駆動 ロードセル圧力制御) ※試料吹上ハードコンタクト露光に対応。 対応ワーク 最大 φ6インチ(φ76.2mm)、厚み最大 2mm程度まで  □50.8×50.8mm 50.8×54mm □2、1×4インチ、

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