株式会社ライズワン

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ミニマル マスクアライナー

マーク用光学系200万画素カメラ(対物倍率 4倍) オリフラ用光学系200万画素カメラ(対物倍率 0.8倍) XYZアライメント軸分解能 0.1μm θ軸分解能 8秒(0.00225°) 露光光源(LED)波長=365 ±5nm 照射強度=45mw/cm2 適用ワークφ0.5インチ t=0.8mm 適用マスクφ0.5インチ 露光方式ギャップ0.1μm分解能で任意に設定 ソフトコンタクト(ロードセル圧力検知) ハードコンタクト(エアーによる吹上) 弊社は、つくば産総研 “ミニマルファブ技術研究組合”会員として 組合監修のもとマスクアライナーの製作を行っております。

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