株式会社ライズワン

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自動マスク露光機

露光方式1:1(等倍) コンタクト露光コンタクト方式ハード、ソフト、ギャップ 適応ワーク4インチ(3インチ~8インチまでの製作実績あり) 適応マスク5インチ プリアライメント機能:オリフラまたはノッチをCCDカメラ検出 ファインアライメント精度±1.0μm(200万画素CCD 対物4倍顕微鏡) 露光方式:Gap露光 、コンタクト露光 、吹上露光 (露光光源主波長:365、405、436nm) ウェハ搬送ロボットによる全自動搬送 2マガジン対応

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