株式会社ライズワン

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半自動マスクアライナー

作業者がウェハをセットし 1枚ずつ手動アラメントを行う装置です。 表面、裏面それぞれ2つずつ計4個のカメラを設置し、 表裏アライメントが可能です。

スペック

露光方式1:1(等倍)
コンタクト露光コンタクト方式ハード、ソフト、ギャップ
適応ワーク 4インチ 6インチ 8インチ
適応マスク 5インチ 7インチ 9インチ
ファインアライメントカメラ 500万画素CCD 対物4倍顕微鏡)
アライメント精度 1.0μm以下
露光方式:Gap露光 、コンタクト露光 、吹上露光
(露光光源主波長:365、405、436nm)
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