株式会社ライズワン

ファンクションテスター・ファクトリーオートメーション

FCT・FA

半導体製造(前工程)生産装置のご紹介

自動マスク露光機

仕様
露光方式 1:1(等倍)コンタクト露光
コンタクト方式 ハード、ソフト、ギャップ
適応ワーク 4インチ(3インチ~8インチまでの製作実績あり)
適応マスク 5インチ
露光光源 主波長:365、405、436nm
アライメント精度 ±1.0μm(200万画素CCD 対物4倍顕微鏡)
制御 全自動露光機 2マガジン対応
自動マスク露光機

ミニマル マスクアライナー

弊社は、つくば産総研 “ミニマルファブ技術研究組合”会員として組合監修のもとマスクアライナーの製作を行っております。

概略仕様
マーク用光学系 200万画素カメラ(対物倍率 4倍)
オリフラ用光学系 200万画素カメラ(対物倍率 0.8倍)
XYZアライメント軸 分解能 0.1μm
θ軸 分解能 8秒(0.00225°)
露光光源(LED) 波長=365 ±5nm 照射強度=45mw/cm2
適用ワーク φ0.5インチ t=0.8mm
適用マスク φ0.5インチ
露光方式 ギャップ0.1μm分解能で任意に設定
ソフトコンタクト(ロードセル圧力検知)
ハードコンタクト(エアーによる吹上)
ミニマルマスクアライナー

ミニマルファブ技術研究組合ホームページ
http://www.minimalfab.com/

ロール加圧式インプリント装置

概要

本装置は、大面積モールドからフィルム基材へのUVインプリントを行う装置です。モールド上UV硬化樹脂を塗布し、その上にフィルム基材を載せ高精度に加圧・速度コントロールされたローラにより加圧、圧着されUV照射により硬化パターニングさせる装置です。

UV樹脂塗布 手動にて塗布(オプション:ディスペンサーによる自動塗布)
バーコータ 塗布されたUV樹脂をバーコータにて均等に引き延ばす
転写方式 転写ローラによるローラ加圧方式(転写速度 0.1mm/Sec~50.0mm/Sec)
平面精度 石定盤00級(平面精度=2μm)1200mm×750mm
適用モールド 1200mm × 750mm 厚さ30mm
UV光源(LED) 波長=375nm 有効長=800mm(ライズワン製)
その他 フィルムクリーナ・除電バー 設置

イメージ図

ロール加圧式プリント装置イメージ図

その他 自動機

テープ転写+丁合装置

テープ転写+丁合装置

自動アライメント半田付け装置

自動アライメント半田付け装置

オーディオ繰り返し検査装置

オーディオ繰り返し検査装置

ワイヤーボンディング

ワイヤーボンディング

接着剤塗布装置

接着剤塗布装置

ECU中間基板検査装置・最終検査装置のご紹介

製品に関するお問い合わせ

製品に関するお問い合わせは株式会社ライズワンまでお願いいたします。
用途、ご予算に応じて最適な機器をご提案いたします。

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